Was machen die Arbeiter denn so?

[Bouncy]

außer tools reparieren? was heißt eigentlich reparieren? da man keine vorstellung hat was ein tool eigentlich macht, fehlt mir auch eine vorstellung davon, wie und was man reparieren könnte?

[Abseus]

defekte generatoren austauschen oder prozesskits die schon zu viele prozessrückstände aufweisen ausbauen und zur reinigung schicken. Gasleitungen/gasventile die auf grund von ablagerungen (es gibt gase die kondensieren an den innenwänden) nich mehr genug gasflow haben / nich mehr dicht schließen austauschen. prozesse neu eintunen die aus der spec gelaufen sind.
So sachen und es gibt noch einige mehr.

[Critter]

Ein Operator ist ja für bestimmt 10 Tools verantwortlich. Manchmal "wissen" die Tools auch nicht weiter weil sich was verklemmt hat o.ä.. Dann leuchtet eine Lampe und der Operator wird aktiv. Oft reichen auch nur ein paar Eingaben an der Konsole. Sind es kompliziertere Reparaturen, so gibt es von jedem Toolhersteller echte Techniker vor Ort die das übernehmen. Ist aber nur in seltenen Fällen so.

[nie (Golem.de)]

Wer regulär an einem Tool arbeitet, überwacht vor allem durch die Monitore die daran angeschlossen sind den Vorgang im Inneren der Maschine.

Was in den Tools passiert, konnten wir leider nicht im Bild zeigen. Wenn es ein Fenster an der Maschine gibt, kann man beispielsweise sehen, wie die Wafer gespült oder geätzt werden. Andere Tools wie die Belichter sind völlig dicht. Dort dockt eines der Vehicles an, lädt die Wafer in die Maschine, und sobald diese fertig sind, kommen sie wieder ins Vehicle.

Nico Ernst
Redaktion Golem.de

[Phil.42]

Ich kenne zwar nur "höhere" Halbleitertechnik (Sprich keine Sicilium-basierte, sondern GaAs oder InP-basierte) aber ein Großteil dürfte identisch sein.

Heizungen in der Epitaxie austauschen (die meisten Halbleiter brauchen hohe Temperaturen!), Material nachfüllen, Rohre "durchpusten", Bubbler austauschen (hier wird das Trägergas mit Halbleitermaterialien angereichert), Masken austauschen (diese werden teilweise bei der Belichtung zerstört, ferner kann ich mir nicht vorstellen, dass alle Strukturen mit Photolithographie gefertigt werden sondern zumindest teilweise und vorallem in Zukunft mit Elektronenstrahlitho), Vakuum überwachen, Messspitzen der AFMs austauschen, Auswuchten von Lappanlagen und noch vieles mehr.
Grundlegende Reperaturen sind allerdings nicht ohne weiteres möglich und eigentlich auch nicht nötig, eine starke Abnutzung der Geräte liegt für gewöhnlich nicht vor.

Man sollte eher sagen "Wartung der Tools" als "Reperatur". Wie im Text selbst beschrieben können wirkliche Defekte kaum repariert werden.

[zokes83]

Elektronenstrahllithografie ist leider viel zu zeitaufwändig um damit die Chips in der Massenproduktion zu belichten, da der Strahl ja nacheinander den ganzen Wafer abfahren müsste. Das wird meist nur für die Maskenherstellung verwendet.

MfG, zokes

[dread]

Außerdem ist direkt schreiben für ein Massenprodukt nicht nötig, weswegen der nächste große Schritt wahrscheinlich EUV wird (13nm im Gegensatz zu jetzt 192nm) aber dazu müssen noch die Optiken (Spiegel) und Lichtquellen entwickelt werden