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gibt es nähere Infos wie genau EUV derzeit funktioniert?

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  1. gibt es nähere Infos wie genau EUV derzeit funktioniert?

    Autor: Poison Nuke 31.08.20 - 10:19

    hat jemand genauere Specs zur Hand, wie genau die EUV Belichtung bei Samsung umgesetzt wird? klassische Linsen funktionieren ja nicht sondern es müssen spezielle Spiegel verwendet werden die trotzdem extrem hohe Leistungsverluste erzeugen (und gekühlt werden müssen usw).

  2. Re: gibt es nähere Infos wie genau EUV derzeit funktioniert?

    Autor: ms (Golem.de) 31.08.20 - 10:44

    Zu EUV generell, das gilt für Logik genauso wie für DRAM:

    https://www.golem.de/news/euv-halbleiterfertigung-wie-chips-aus-plasma-fladen-entstehen-1908-130247.html

    Marc Sauter, Sr Editor
    Golem.de

  3. Re: gibt es nähere Infos wie genau EUV derzeit funktioniert?

    Autor: Poison Nuke 31.08.20 - 11:04

    ms (Golem.de) schrieb:
    --------------------------------------------------------------------------------
    > Zu EUV generell, das gilt für Logik genauso wie für DRAM:
    >
    > www.golem.de


    cool danke! den hatte ich noch nicht gesehen

    Habt ihr Infos wieviel "Licht" Leistung an den Spiegel verloren geht und wie das mit der Kühlung / Verformung von denen ist? Und wieviel Leistung kommt am Ende überhaupt auf dem Wafer an?

  4. Re: gibt es nähere Infos wie genau EUV derzeit funktioniert?

    Autor: Netzweltler 31.08.20 - 13:26

    Poison Nuke schrieb:
    --------------------------------------------------------------------------------
    > ms (Golem.de) schrieb:
    > ---------------------------------------------------------------------------
    > -----
    > > Zu EUV generell, das gilt für Logik genauso wie für DRAM:
    > >
    > > www.golem.de
    >
    > cool danke! den hatte ich noch nicht gesehen
    >
    > Habt ihr Infos wieviel "Licht" Leistung an den Spiegel verloren geht und
    > wie das mit der Kühlung / Verformung von denen ist? Und wieviel Leistung
    > kommt am Ende überhaupt auf dem Wafer an?
    https://de.wikipedia.org/wiki/EUV-Lithografie

  5. Re: gibt es nähere Infos wie genau EUV derzeit funktioniert?

    Autor: ms (Golem.de) 31.08.20 - 14:04

    ASML sagte mir, grob 90 Prozent kommen nicht an.

    Marc Sauter, Sr Editor
    Golem.de

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