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EUV vs Immersionslitho

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  1. EUV vs Immersionslitho

    Autor: confuso 18.07.18 - 16:02

    Verstehe den Unterschied nicht... Die Anzahl der Arbeitsschritte hängt von der Anzahl der Layer ab. Warum sollten die bei EUV weniger Layer verwenden?

    Edit 1: Meine aktuelle Vermutung ist, dass gemeint ist, dass man bei Immersionslitho für kleine Strukturen den gleichen Layer mehrfach belichten muss um ausreichend feine Strukturen zu bekommen?

    Edit 2: Ok dank Wikipedia (https://de.wikipedia.org/wiki/Mehrfachstrukturierung) weiß ich jetzt, dass meine Vermutung richtig war... aber sehr schwierig, den Zusammenhang aus dem Golemartikel heraus zu verstehen...



    2 mal bearbeitet, zuletzt am 18.07.18 16:13 durch confuso.

  2. Re: EUV vs Immersionslitho

    Autor: olleIcke 18.07.18 - 19:20

    Na golem hat ja auch nur die Grafik angehangen.
    Die is ja von ASML wie es aussieht.

    Aber ich hab auch keinerlei Ahnung :] Krasser business.

    Das golem-Forum kann BBCode!

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