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FinFET ist niemals FDSOI

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  1. FinFET ist niemals FDSOI

    Autor: sciing 09.11.16 - 21:21

    Keine Ahnung wo Herr Sauter das aufgeschnappt haben will, wahrscheinlich beim Golem "Halbleiterexperten" Wunderlich, aber es ist grober Unfug!
    Es gab mal die Idee von SOI FinFETs. Das sollte das SOI so dick sein wie Finne hoch sein, also mehrere 10 nm. Das SOI ist dann ein prima Ätzstop, mehr aber auch nicht. Eine Finne aus 5nm SOI wie FDSOI wäre ziemlicher Schwachsinn, der Kanalquerschnitt wäre viel zu klein!
    Ein FinFET ist quasi fully depleted, egal ob bulk oder SOI. Es wird also nie jemand von FDSOI FinFET reden.
    Der riesen Vorteil von FDSOI ist backbiasing. Da des Box relativ dünn kann man über die Wannenspannung den Kanal beeinflussen und die Einsatzspannung verschieben. Wenn ich FinFET auf SOI hätte würde dieser Effekt nur die unteren Teil der Finne betreffen, ein Grossteil des Kanals wäre unbeeindruckt. Man kann also nicht die Vorteile von FinFET und FDSOI kombinieren!

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