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Die Strahlenleistung ist eigentlich uninteressant.

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  1. Die Strahlenleistung ist eigentlich uninteressant.

    Autor: Sinnfrei 26.07.17 - 15:43

    Viel spannender ist die Synchronisation mit der Kamera und dem Metallverstäuber.

    Ich glaube da wäre es mal gut einen ausführlichen deutschen Artikel zur Funktionsweise von EUV zu haben, ähnlich dem hier: http://semiengineering.com/why-euv-is-so-difficult/

    Ich glaube ja, viele Leute haben keine Vorstellung was daran überhaupt so kompliziert ist.

    __________________
    ...



    2 mal bearbeitet, zuletzt am 26.07.17 15:44 durch Sinnfrei.

  2. Re: Die Strahlenleistung ist eigentlich uninteressant.

    Autor: Eheran 26.07.17 - 16:00

    Was meinst du mit Metallverstäuber?
    Bei der EUV geht es doch um die Belichtung und damit auch um die Leistung für mehr Durchsatz?
    >Ich glaube ja, viele Leute haben keine Vorstellung was daran überhaupt so kompliziert ist.
    Was genau ist es denn?

  3. Re: Die Strahlenleistung ist eigentlich uninteressant.

    Autor: Sinnfrei 26.07.17 - 20:42

    ^^Danke für die Bestätigung.

    > The droplet generator is a small vessel. In operation, tin is loaded into the droplet generator and then heated. At that point, a train of tiny tin droplets flow out from the droplet generator, through a filter and into the vacuum chamber in the source. The droplets are 25 microns in diameter and are falling at a rate of 50,000 times a second.

    > In the vessel, there is a camera. A droplet passes a certain position in the chamber. Then, the camera tells the seed laser in the sub-fab to fire a laser pulse into the main vacuum chamber. This is called the pre-pulse.

    > Then comes the really hard part. The pre-pulse laser hits the spherical tin droplet and turns it into a pancake-like shape. Then the laser unit fires again, representing the main pulse. The main pulse hits the pancake-like tin droplet and vaporizes it. “We are trying to hit each droplet twice with the pre-pulse and main-pulse at 50,000 times a second,” ASML’s Lercel said.

    > At that point, the tin vapor becomes plasma. The plasma, in turn, emits EUV light at 13.5nm wavelengths.

    Edit: Zerstäuber ist natürlich das falsche Wort. Tröpfchengenerator wäre wohl besser. Aber auf jeden Fall krank die ganze Technologie.

    __________________
    ...



    2 mal bearbeitet, zuletzt am 26.07.17 20:46 durch Sinnfrei.

  4. Re: Die Strahlenleistung ist eigentlich uninteressant.

    Autor: Eheran 26.07.17 - 20:50

    Du redest also von der Erzeugung der Strahlung, alles klar. Sehr interessant wie das gemacht wird.

  5. Re: Die Strahlenleistung ist eigentlich uninteressant.

    Autor: chefin 27.07.17 - 07:30

    Naja...wir haben hier im Labor für EMV Messungen schon Vakuumpumpen gehabt mit Atomfallen.

    Dort wird ein Vakuum erzeugt, das weniger als 10 Atome pro Kubikmeter hat. Im All geht man von 1000 Atomen aus im Leerraum zwischen den Galaxien. Im Sonnensystem ist das Vakuum bei 10.000 Atomen pro Kubikmeter und mehr.

    Man zählt dazu die Atome die in einer bestimmten Zeit gefunden werden und ermittelt daraus als statistischen Wert das erreichte Vakuum. Da hat man mit Materialsublimation zu kämpfen. Jedes Material verdunstet, sublimiert. Manche mehr manche weniger. Ein Material das 1 Atom pro Minute abgibt würde in 10 Minuten das Vakuum halbieren. Deswegen arbeiten Hochleistungspumpen dran, das rauszusaugen.

    Und was ist daran nun so neu? Garnichts, das gibts seit über 10 Jahren und ist in eben diesen Maschinen im Einsatz. Atome zählen gehört zum Alltag.

    UV-Licht erzeugen auch. Was meinst du wie UV-Licht in Hochdrucklampen erzeugt wird? Ja..in den popeligen bläulichen Strassenlampen die man seit 50 Jahren oder mehr benutzt. Man erzeugt Plasma, das Photonen emittiert die an der Wandung ihre Frequenz ändern. Man bremst die Schwingung der Photonen ab. Schonmal versucht ein Atom langsamer schwingen zu lassen? Und die Lampe macht das mit Photonen.

    Ok...für dich ist es scheinbar neu, deswegen bist du so fasziniert. Aber im Prinzip ist es das was in Hochdrucklampen schon seit langer langer Zeit passiert.

  6. Re: Die Strahlenleistung ist eigentlich uninteressant.

    Autor: Eheran 27.07.17 - 10:09

    >Dort wird ein Vakuum erzeugt, das weniger als 10 Atome pro Kubikmeter hat.
    Ein Ultrahochvakuum von 10^-10mbar hat etwa 10^12 Teilchen pro m³.
    Kein künstlich erzeugtes Vakuum wird in absehbarer Zeit auch nur auf mehrere Zehnerpotenzen dem Vakuum im Intergalaktischen Medium nahe kommen. Dort sind nur noch ein paar Wasserstoffatome pro m³, was einem "Druck" von etwa 10^-21mbar entspricht. Erreicht haben wir etwa 10^-16mbar, mit TMP (Pumpen) sind etwa 10^-10mbar möglich.

    >Man erzeugt Plasma, das Photonen emittiert die an der Wandung ihre Frequenz ändern.
    Und welches Plasma erzeugt Photonen mit <10nm? Jedenfalls nicht einfach Quecksilber bzw. dessen Spektrallinien.

    >Schonmal versucht ein Atom langsamer schwingen zu lassen?
    Nennt sich abkühlen.

    >langsamer schwingen [...] Und die Lampe macht das mit Photonen.
    Die Lampe hat einen Leuchtstoff an der Innenseite, der die zwei UV-Spektrallinien vom Quecksilber durch Fluoreszenz rotverschiebt. Die Photonen bleiben dabei nicht erhalten, da sie bei der Fluoreszenz geschluckt werden und später neue emittiert werden.

    >Aber im Prinzip ist es das was in Hochdrucklampen schon seit langer langer Zeit passiert.
    Da werden also erst winzigste 25µm Zinntröpfchen erzeugt und in ein Vakuum geschossen, dann von einer Kamera detektiert und mit Laser erst verformt und dann mit einem 2. Laser verdampft? Interessant.

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