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193 nm = UV, EUV != Röntgen

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  1. 193 nm = UV, EUV != Röntgen

    Autor: Der mit dem Blubb 09.07.15 - 11:39

    > Um den Test-Chip mit 7-nm-FinFET-Technik fertigen zu können, hat IBM wie
    > erwartet EUV-Lithographie eingesetzt: Dieses Belichtungsverfahren arbeitet
    > mit einer Art Röntgenstrahlen mit einer Wellenlänge von 13,5 nm.

    Was heißt da eine "Art Röntgenstrahlung"? UV ist Ultraviolettstrahlung, Röntgenstrahlung beginnt im Sub-nm-Bereich, die EUV-Belichtung findet wie geschrieben bei 13,5 nm statt.

    > Bisher scheuten alle Hersteller daher dieses exorbitant teure Verfahren,
    > Intel nutzt für seinen 10-nm-FinFET-Prozess noch Immersionslithographie
    > und auch für das 7-nm-FinFET-Verfahren geben sie sich optimistisch, auf
    > ultraviolette Strahlung verzichten zu können.

    Intel möchte beim 10-nm-Prozess auf UV-Licht verzichten? Was nutzen die dann; sichtbares Licht? ;)
    Nein, Intel will beim 10-nm-Prozess auf extremes UV (13,5 nm) verzichten. Natürlich wird man aber mit Immersionslithografie arbeiten und eine Wellenlänge von 193 nm einsetzen - also UV-Licht.

    > IBM Research hat einen Testchip im 7-nm-FinFET-Verfahren entwickelt -
    > gemeinsam mit Globalfound, Samsung und dem College of Nanoscale Science
    > and Engineering der State University of New York Polytechnic Institute.

    Globalfound soll vermutlich Globalfoundries heißen.



    1 mal bearbeitet, zuletzt am 09.07.15 11:41 durch Der mit dem Blubb.

  2. Re: 193 nm = UV, EUV != Röntgen

    Autor: ms (Golem.de) 09.07.15 - 12:05

    Danke für die Hinweise. Ultraviolette Strahlung überschneidet sich AFAIK mit der "weichen" Röntgenstrahlung .

    Marc Sauter, Sr Editor
    Golem.de

  3. Re: 193 nm = UV, EUV != Röntgen

    Autor: Eheran 09.07.15 - 13:21

  4. Re: 193 nm = UV, EUV != Röntgen

    Autor: m00hk00h 09.07.15 - 13:26

    Physiker unterscheiden Strahlungen aber auch ihrer Entstehung nach, unabhängig vom Energiebereich, z.B.:

    "weiche Röntgenstrahlung" impliziert Bremsstrahlung eines niederenergetischen geladenen Teilchens.
    "charakteristische Röntgenstrahlung" impliziert hochenergetische Übergänge in der Atomhülle.
    "Synchrotronstrahlung" impliziert Ablenkstrahlung eines geladenen Teilchens.
    "Gammastrahlung" impliziert Strahlung aus einem Kernprozess.
    "Emissionsstrahlung" impliziert Strahlung durch Änderung der Energieniveaus in der Atomhülle.

    Alle diese Vorgänge können sich im Energiebereich überschneiden, aber zumindest in der Medizinphysik ist durch die richtige Namensgebung schon klar, welcher Prozess zur Entstehung geführt hat. Das interessiert einen Astronom vermutlich weniger, aber hier auf der Erde ist es hilfreich.

    "Laser" impliziert außerdem eine monochromatische Strahlung im Bereich des "Lichts" mit hoher Kohärenzlänge ("*LIGHT* amplification by stimulated emission of radiation). Im Gegenzug dazu z.B. die "Maser", die genau das selbe im Mikrowellenbereich leisten.

    Da bei der EUV-Lithographie ein Laser (vermutlich Faser) zum Einsatz kommt, wäre es irreführend, von Röntgenstrahlung zu reden. Die fängt außerdem laut Lehrbuch bei 0,25nm an, da sind 13,5 doch noch weit entfernt.

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