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EUV-Lithographie: IBM zeigt weltweit ersten Test-Chip mit 7-nm-Technik

Welch ein Kraftakt: IBM hat zusammen mit drei Partnern den bisher einzigen Test-Chip im 7-nm-FinFET-Verfahren hergestellt. Dazu waren neue Materialien und eine Belichtung im Vakuum nötig.


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