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UMC baut erste Chips mit 45 Nanometern

Der taiwanische Auftragshersteller für Halbleiter UMC hat nach eigenen Angaben erste SRAMs mit einer Strukturbreite von nur noch 45 Nanometern hergestellt. Dabei kam Immersions-Belichtung zum Einsatz, bei der die Geräte mit einer Flüssigkeit gefüllt werden.


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