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Wellenlänge

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  1. Wellenlänge

    Autor: :-) 20.02.06 - 14:38

    Spontan hätte ich jetzt angenommen, dass man für Strukturbreiten von 30nm eine Strahlung mit einer Wellenlänge von 60nm braucht. Aber man lernt ja nie aus.

  2. Re: Wellenlänge

    Autor: Käptn Kompost 20.02.06 - 14:57

    Ich verstehe das mit der Wellenlänge nicht so ganz. Bei beispielsweise 30nm-Strukturen dürfte die Wellenlänge doch nicht größer als 30nm sein, oder? Das wäre doch sonst so, als wenn ich mit ner großen Baggerschaufel die Gänge eines Ameisenhaufens graben möchte (im Bezug auf die Größe)
    Müßte also die Wellenlänge nicht kleiner als 30nm sein, um 30nm-Strukturn zu schaffen? ein Laser mit 60 oder mehr wäre doch viel zu "grob" für diese Strukturen.
    Vielleicht kann mir das ja jemand mal erläutern. ;)


    :-) schrieb:
    -------------------------------------------------------
    > Spontan hätte ich jetzt angenommen, dass man für
    > Strukturbreiten von 30nm eine Strahlung mit einer
    > Wellenlänge von 60nm braucht. Aber man lernt ja
    > nie aus.


  3. Re: Wellenlänge

    Autor: nyrk 20.02.06 - 15:32

    Käptn Kompost schrieb:
    -------------------------------------------------------
    > Ich verstehe das mit der Wellenlänge nicht so
    > ganz. Bei beispielsweise 30nm-Strukturen dürfte
    > die Wellenlänge doch nicht größer als 30nm sein,
    > oder? Das wäre doch sonst so, als wenn ich mit ner
    > großen Baggerschaufel die Gänge eines
    > Ameisenhaufens graben möchte (im Bezug auf die
    > Größe)
    > Müßte also die Wellenlänge nicht kleiner als 30nm
    > sein, um 30nm-Strukturn zu schaffen? ein Laser mit
    > 60 oder mehr wäre doch viel zu "grob" für diese
    > Strukturen.
    > Vielleicht kann mir das ja jemand mal erläutern.
    > ;)
    >
    > :-) schrieb:
    > --------------------------------------------------
    > -----
    > > Spontan hätte ich jetzt angenommen, dass man
    > für
    > Strukturbreiten von 30nm eine Strahlung
    > mit einer
    > Wellenlänge von 60nm braucht. Aber
    > man lernt ja
    > nie aus.
    >
    >

    Deine spontane Anahme ist nicht ganz korrekt.
    Lies mal hier: http://www.physik.uni-osnabrueck.de/kbetzler/sos/physikjournal/euvlitho.pdf

    MfG

    alex

  4. Re: Wellenlänge

    Autor: :-) 20.02.06 - 15:45

    Käptn Kompost schrieb:
    -------------------------------------------------------
    > Ich verstehe das mit der Wellenlänge nicht so
    > ganz. Bei beispielsweise 30nm-Strukturen dürfte
    > die Wellenlänge doch nicht größer als 30nm sein,
    > oder? Das wäre doch sonst so, als wenn ich mit ner
    > großen Baggerschaufel die Gänge eines
    > Ameisenhaufens graben möchte (im Bezug auf die
    > Größe)
    > Müßte also die Wellenlänge nicht kleiner als 30nm
    > sein, um 30nm-Strukturn zu schaffen? ein Laser mit
    > 60 oder mehr wäre doch viel zu "grob" für diese
    > Strukturen.
    > Vielleicht kann mir das ja jemand mal erläutern.
    > ;)
    >
    > :-) schrieb:
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    > -----
    > > Spontan hätte ich jetzt angenommen, dass man
    > für
    > Strukturbreiten von 30nm eine Strahlung
    > mit einer
    > Wellenlänge von 60nm braucht. Aber
    > man lernt ja
    > nie aus.
    >
    >


    Forscher an IBMs Almaden Research Center haben nach eigenen Angaben die bislang feinsten Linienmuster mit Hilfe tief-ultravioletter optischer Lithografie (193 Nanomenter) erzeugt.

    Mich hatten die 193 nm irritiert

  5. Re: Wellenlänge

    Autor: :-) 20.02.06 - 16:01

    nyrk schrieb:
    -------------------------------------------------------
    > Käptn Kompost schrieb:
    > --------------------------------------------------
    > -----
    > > Ich verstehe das mit der Wellenlänge nicht
    > so
    > ganz. Bei beispielsweise 30nm-Strukturen
    > dürfte
    > die Wellenlänge doch nicht größer als
    > 30nm sein,
    > oder? Das wäre doch sonst so, als
    > wenn ich mit ner
    > großen Baggerschaufel die
    > Gänge eines
    > Ameisenhaufens graben möchte (im
    > Bezug auf die
    > Größe)
    > Müßte also die
    > Wellenlänge nicht kleiner als 30nm
    > sein, um
    > 30nm-Strukturn zu schaffen? ein Laser mit
    > 60
    > oder mehr wäre doch viel zu "grob" für diese
    >
    > Strukturen.
    > Vielleicht kann mir das ja jemand
    > mal erläutern.
    > ;)
    >
    > :-)
    > schrieb:
    >
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    >
    > -----
    > > Spontan hätte ich jetzt
    > angenommen, dass man
    > für
    > Strukturbreiten
    > von 30nm eine Strahlung
    > mit einer
    >
    > Wellenlänge von 60nm braucht. Aber
    > man lernt
    > ja
    > nie aus.
    >
    > Deine spontane Anahme ist nicht ganz korrekt.
    > Lies mal hier: www.physik.uni-osnabrueck.de
    >
    > MfG
    >
    > alex

    Danke für den Link. Aber so groß ist der Unterschied zu meiner "ersten" Abschätzung ja auch nicht. Nimmt man für k=0,36 und für NA=0,9, so kommt man auf eine Wellenlänge von rund 75 nm für Strukturbreiten von 30nm.

  6. Re: Wellenlänge

    Autor: Level83 20.02.06 - 17:12

    :-) schrieb:
    -------------------------------------------------------
    > Käptn Kompost schrieb:
    > --------------------------------------------------
    > -----
    > > Ich verstehe das mit der Wellenlänge nicht
    > so
    > ganz. Bei beispielsweise 30nm-Strukturen
    > dürfte
    > die Wellenlänge doch nicht größer als
    > 30nm sein,
    > oder? Das wäre doch sonst so, als
    > wenn ich mit ner
    > großen Baggerschaufel die
    > Gänge eines
    > Ameisenhaufens graben möchte (im
    > Bezug auf die
    > Größe)
    > Müßte also die
    > Wellenlänge nicht kleiner als 30nm
    > sein, um
    > 30nm-Strukturn zu schaffen? ein Laser mit
    > 60
    > oder mehr wäre doch viel zu "grob" für diese
    >
    > Strukturen.
    > Vielleicht kann mir das ja jemand
    > mal erläutern.
    > ;)
    >
    > :-)
    > schrieb:
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    > > Spontan hätte ich jetzt
    > angenommen, dass man
    > für
    > Strukturbreiten
    > von 30nm eine Strahlung
    > mit einer
    >
    > Wellenlänge von 60nm braucht. Aber
    > man lernt
    > ja
    > nie aus.
    >
    > Forscher an IBMs Almaden Research Center haben
    > nach eigenen Angaben die bislang feinsten
    > Linienmuster mit Hilfe tief-ultravioletter
    > optischer Lithografie (193 Nanomenter) erzeugt.
    >
    > Mich hatten die 193 nm irritiert



    Ich muss Dich entäuschen, üblicherweise wird in der Lithographie tatsächlich mit 193 nm "Schaufeln" Gräben mit heute kommerziell bis zu 65 bzw. 45 nm Breite gegraben.... Klingt unglaubwürdig, ist aber technisch machbar, und IBM sagt, dass auch 32 nm noch nicht die Grenze ist.

  7. Re: Wellenlänge

    Autor: Bela 20.02.06 - 17:23

    Level83 schrieb:
    -------------------------------------------------------
    > :-) schrieb:
    > --------------------------------------------------
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    > > Käptn Kompost schrieb:
    >
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    > > Ich verstehe das mit der
    > Wellenlänge nicht
    > so
    > ganz. Bei
    > beispielsweise 30nm-Strukturen
    > dürfte
    >
    > die Wellenlänge doch nicht größer als
    > 30nm
    > sein,
    > oder? Das wäre doch sonst so, als
    >
    > wenn ich mit ner
    > großen Baggerschaufel
    > die
    > Gänge eines
    > Ameisenhaufens graben
    > möchte (im
    > Bezug auf die
    > Größe)
    >
    > Müßte also die
    > Wellenlänge nicht kleiner als
    > 30nm
    > sein, um
    > 30nm-Strukturn zu
    > schaffen? ein Laser mit
    > 60
    > oder mehr
    > wäre doch viel zu "grob" für diese
    >
    > Strukturen.
    > Vielleicht kann mir das ja
    > jemand
    > mal erläutern.
    > ;)
    > >
    >
    > :-)
    > schrieb:
    >
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    > > Spontan hätte ich
    > jetzt
    > angenommen, dass man
    > für
    >
    > Strukturbreiten
    > von 30nm eine Strahlung
    >
    > mit einer
    >
    > Wellenlänge von 60nm braucht.
    > Aber
    > man lernt
    > ja
    > nie aus.
    >
    > >
    > > > Forscher an IBMs
    > Almaden Research Center haben
    > nach eigenen
    > Angaben die bislang feinsten
    > Linienmuster mit
    > Hilfe tief-ultravioletter
    > optischer
    > Lithografie (193 Nanomenter) erzeugt.
    > >
    > Mich hatten die 193 nm irritiert
    >
    > Ich muss Dich entäuschen, üblicherweise wird in
    > der Lithographie tatsächlich mit 193 nm
    > "Schaufeln" Gräben mit heute kommerziell bis zu 65
    > bzw. 45 nm Breite gegraben.... Klingt
    > unglaubwürdig, ist aber technisch machbar, und IBM
    > sagt, dass auch 32 nm noch nicht die Grenze
    > ist.
    >


    Soweit mir bekannt nuzt man den "Beuge-effekt" um mit geeigneten Masken kleiner Strukturen zu erzeugen als die Wellenlänge vermuten läßt. Ist aber technisch nicht wirklich banal, da Abstand und Maskendesign sehr schwierig zu berechnen ist.
    Gruß

  8. Re: Wellenlänge

    Autor: :-) 20.02.06 - 17:25

    Level83 schrieb:
    -------------------------------------------------------

    >
    > Ich muss Dich entäuschen, üblicherweise wird in
    > der Lithographie tatsächlich mit 193 nm
    > "Schaufeln" Gräben mit heute kommerziell bis zu 65
    > bzw. 45 nm Breite gegraben.... Klingt
    > unglaubwürdig, ist aber technisch machbar, und IBM
    > sagt, dass auch 32 nm noch nicht die Grenze
    > ist.
    >


    Läßt sich aber physikalisch nicht ganz nachvollziehen

  9. Re: Wellenlänge

    Autor: :-) 20.02.06 - 17:35

    Bela schrieb:
    -------------------------------------------------------

    > Soweit mir bekannt nuzt man den "Beuge-effekt" um
    > mit geeigneten Masken kleiner Strukturen zu
    > erzeugen als die Wellenlänge vermuten läßt. Ist
    > aber technisch nicht wirklich banal, da Abstand
    > und Maskendesign sehr schwierig zu berechnen ist.
    > Gruß


    Wenn sich auf meiner "Zeichnung" schwarze Linien von 300 micrometer Breite und einem Zwischenraum von 300 micrometern befinden und das Ganze dann um den Faktor 10.000 verkleinert wird, dann kann doch mit einem Wellenberg nicht gleichzeitig Hell und Dunkel geschrieben werden.

    Ich will mich ja nicht streiten...

  10. Re: Wellenlänge

    Autor: :-) 20.02.06 - 18:00

    http://www.fzk.de/fzk/idcplg?IdcService=FZK&node=2324&document=ID_050876

    Hab dir auch mal einen Link reingestellt.

  11. Re: Wellenlänge

    Autor: mel-student 23.02.06 - 16:04

    informier dich doch einfach mal über die immersions lithographie. dieses ist ein verfahren um kleine strukturen mit grossen wellenlängen zu erstellen.

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